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半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器(CVD,MOCVD專用)不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣,還具有多項(xiàng)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用功能,是半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要的設(shè)備。
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