（3）再通過儀表或顯示器檢查管路和閥門是否正確連接并處于開啟狀態(tài)。

 

　　CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作：

 

　?。?）在運行CVD前，需要正確操作以確保正常供應氫氣。

 

　?。?）首先，打開氣瓶閥門，為其提供氣源，通常會聽到氣體流動聲音。

 

　?。?）接下來，按下電源開關(guān)，開始進行加熱，直到發(fā)生器中的電阻絲升至所需溫度，這通常需要花費幾分鐘的時間。

 

　?。?）然后，設(shè)定合適的工作壓力和氫氣流量，通常這些值都可以在CVD系統(tǒng)手冊或設(shè)備樣品介紹里找到。

 

　?。?）再檢測輸出的氫氣質(zhì)量，并觀察儀表或顯示屏上讀數(shù)是否穩(wěn)定。在出現(xiàn)故障前提醒間隔時間內(nèi)，及時更換氫氣瓶，并維護好設(shè)備。

 

　　CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器使用時需注意以下安全事項：

　?。?）操作和使用該設(shè)備的人員必須具備應有的專業(yè)知識，遵循相關(guān)操作規(guī)程。一旦發(fā)生意外，請及時停止氫氣發(fā)生反應、關(guān)閉氫氣瓶閥門并遠離裝置。

 

　?。?）在操作期間，需要將氫氣發(fā)生器安置于通風的場所，并確保室內(nèi)沒有明火或其他可能導致火災的危險元素。

 

　　（3）長期不使用該設(shè)備時，應關(guān)閉氫氣瓶閥門，切斷氣源，并進行適當保養(yǎng)。

 

　　通過本文，我們詳細掌握了進口CVD氫氣發(fā)生器的使用方法和安全注意事項。只有正確、安全合理的操作才能保證我們得到質(zhì)量穩(wěn)定，性能好的化學氣相沉積片材產(chǎn)品。