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氫氣發(fā)生器與氮?dú)獍l(fā)生器的區(qū)別

更新時(shí)間:2024-11-25點(diǎn)擊次數(shù):2096

金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要設(shè)備,它能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣。然而,在實(shí)際應(yīng)用中,該設(shè)備可能會(huì)出現(xiàn)一些常見(jiàn)故障。

1.氫氣泄漏

1)原因分析:氫氣泄漏通常是由于設(shè)備氣路連接不緊密或密封件老化損壞造成的。

2)解決方案:定期檢查設(shè)備氣路的密封性,確保所有連接處都緊固無(wú)松動(dòng)。對(duì)于發(fā)現(xiàn)泄漏的部位,及時(shí)更換密封件或修復(fù)漏點(diǎn)。同時(shí),使用符合標(biāo)準(zhǔn)要求的設(shè)備來(lái)運(yùn)輸和存儲(chǔ)氫氣,避免因操作不當(dāng)導(dǎo)致泄漏。

2.氫氣純度下降

1)原因分析:氫氣純度下降可能是由于吸附劑失效、電解池污染或氣體分離系統(tǒng)故障等原因造成的。

2)解決方案:嚴(yán)格遵守使用規(guī)范,定期更換吸附劑,并確保使用相同類型和規(guī)格的吸附劑。對(duì)于電解池污染問(wèn)題,需要定期清洗電解池并更換純凈水作為原料。如果氣體分離系統(tǒng)出現(xiàn)故障,應(yīng)及時(shí)聯(lián)系專業(yè)人員進(jìn)行維修或更換。

3.設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)

1)原因分析:設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)可能是由于電源故障、控制系統(tǒng)故障或水位過(guò)低等原因造成的。

2)解決方案:首先檢查電源插頭是否插好,電源開(kāi)關(guān)是否正常。如果電源正常,則檢查控制系統(tǒng)是否有故障提示,如有故障代碼顯示,根據(jù)說(shuō)明書(shū)進(jìn)行排查和解決。另外,檢查設(shè)備的水位是否低于設(shè)定值,如果是,則補(bǔ)充水源至正常水位。

4.氫氣產(chǎn)量下降

1)原因分析:氫氣產(chǎn)量下降可能是由于電解效率降低、電極老化或水供給不足等原因造成的。

2)解決方案:優(yōu)化電解條件,如調(diào)整電流密度、溫度等參數(shù)以提高電解效率。對(duì)于電極老化問(wèn)題,需要定期更換新的電極以確保電解效果。同時(shí),確保水供給系統(tǒng)正常運(yùn)行,提供充足的純凈水作為原料。

5.安全保護(hù)裝置觸發(fā)

1)原因分析:安全保護(hù)裝置觸發(fā)通常是由于過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)熱等異常情況引起的。

2)解決方案:當(dāng)安全保護(hù)裝置觸發(fā)時(shí),應(yīng)立即停機(jī)檢查并找出異常原因。例如,如果是過(guò)壓?jiǎn)栴},可以檢查氣體輸出管道是否堵塞或調(diào)節(jié)減壓閥以降低壓力;如果是過(guò)流問(wèn)題,可以檢查電路是否有短路或漏電現(xiàn)象;如果是過(guò)熱問(wèn)題,可以檢查散熱系統(tǒng)是否正常工作并進(jìn)行必要的維護(hù)。

6.微電腦控制系統(tǒng)故障

1)原因分析:微電腦控制系統(tǒng)故障可能是由于軟件錯(cuò)誤、硬件損壞或通信故障等原因造成的。

2)解決方案:對(duì)于軟件錯(cuò)誤問(wèn)題,可以嘗試重啟控制系統(tǒng)或更新軟件版本來(lái)解決;對(duì)于硬件損壞問(wèn)題,需要聯(lián)系專業(yè)人員進(jìn)行檢修或更換故障部件;對(duì)于通信故障問(wèn)題,可以檢查通信線路是否連接正常并進(jìn)行必要的調(diào)試。


 



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